流量控制單元(FSCU)
FSCU(Flow System Control Unit)是北京曉韜科技有限公司技術(shù)團隊針對各大高校、科研院所的不同研究方向,為其量身打造的氣體、液體流量控制系統單元,目前大量應用于材料、催化、環(huán)境、化學(xué)、物理等相關(guān)領(lǐng)域。
FSCU可通過(guò)觸摸屏、PLC、PC軟件等上位機系統控制國內外主流流量控制器(如北京七星華創(chuàng )、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat等品牌)及電磁截止閥開(kāi)關(guān),可以讀取氣路中壓力信號或溫度信號并進(jìn)行轉換,從而實(shí)現氣路中常用元件的程序控制,實(shí)現溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動(dòng)功能。
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氣動(dòng)控制
氣動(dòng)控制與液壓控制相比,動(dòng)作迅速、方便,使用的元件和工作介質(zhì)成本低,便于現有機器設備的自動(dòng)化改裝,已經(jīng)在國際上得到很大發(fā)展,成為熱點(diǎn)之一。氣動(dòng)控制的缺點(diǎn),是運動(dòng)不平穩,有噪音,控制元件的體積較大。
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質(zhì)量流量控制器在高壓條件下如何使用?
質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn):1, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 2, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號; 3, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調節減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會(huì )超過(guò)規定的范圍。只要做到以上三點(diǎn), MFC就能夠在高壓條件下穩定工作。
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